Блок подключения РРГ-10Блок подключения РРГ-10 предназначен для подключения регуляторов расхода газа типа «РРГ-10» к устройствам управления, работающим по цифровому протоколу блоков «РРГ-12», например, к блокам питания источников ионов типа End-Hall. Характеристики Наименование параметра Значение Питание осуществляется от однофазной сети переменного тока с изолированной нейтралью напряжением, В 207 — 253 Максимальная потребляемая мощность, не более 20 Вт Максимальное количество подключаемых […] Сравнение линеек блоков питанияСравнение линеек блоков питания Параметр БП магнетронов БП дуальных магнетронов БП ионных источников БП End Hall БП смещения подложки БП ускорителя с анодным слоем БП электронно-лучевых испарителей Обозначение MPS-h-p-i-u-PC MPS-h-p-i-u-AC PS-h-p-i-u-DC IPS-3-p-i-u-v BPS-h-p-i-u-PC ALAPS-3-p-i-u PSE-3-p-i-u-PC Выходное напряжение (полярность) Отрицательное — Положительное Положительное Отрицательное Положительное Отрицательное Выходное напряжение (тип) Импульсное Переменное Постоянное Постоянное Импульсное Постоянное Постоянное […] Устройство плавного пуска с функцией защиты подключенийПредназначен для плавного запуска двигателя и защиты подключений Коммутаторы (Switches)Коммутаторы предназначены для бестокового подключения одной из нескольких нагрузок к выходу блока питания. Блок питания электронно-лучевых испарителей (Electron-beam evaporator power supplies)Предназначен для питания технологического оборудования. Напряжение анодного канала: постоянное отрицательной полярности, накального канала: переменное. Блок питания ускорителя с анодным слоем (Anode layer accelerator power supply)Предназначен для питания технологического оборудования. Напряжение анодного канала: постоянное положительной полярности, накального канала: переменное. Блок питания смещения подложки (Pulsed Bias Power Supply)Предназначен для питания смещения подложки систем ионно-плазменного Блоки питания источников ионов с замкнутым дрейфом электронов и источников ионов типа «End-Hall» (End Hall and Close Drift Ion Sources Power Supplies)Предзназначен для питания технологического оборудования. Выходное напряжение: однополярное импульсное положительной полярности. Блоки питания магнетронов (DC Magnetron Power Supplies)Предназначен для питания магнетронов систем ионно-плазменного Блоки питания ионных источников с анодным слоем (Anode Layer Ion Sources Power Supplies)Предназначен для питания ионных источников с потенциальным анодом |