Блоки питания источников ионов с замкнутым дрейфом электронов и источников ионов типа «End-Hall» (End Hall and Close Drift Ion Sources Power Supplies)Предзназначен для питания технологического оборудования. Выходное напряжение: однополярное импульсное положительной полярности. Блоки питания магнетронов (DC Magnetron Power Supplies)Предназначен для питания магнетронов систем ионно-плазменного Блоки питания ионных источников с анодным слоем (Anode Layer Ion Sources Power Supplies)Предназначен для питания ионных источников с потенциальным анодом Блоки питания дуальных магнетронов (AC Dual Magnetron Power Supplies)Предназначен для питания дуальных магнетронов систем ионноплазменного осаждения покрытий. Выходное напряжение: переменное с симметричными полуволнами. |