Коммутаторы (Switches)Коммутаторы предназначены для бестокового подключения одной из нескольких нагрузок к выходу блока питания. Блок питания электронно-лучевых испарителей (Electron-beam evaporator power supplies)Предназначен для питания технологического оборудования. Напряжение анодного канала: постоянное отрицательной полярности, накального канала: переменное. Блок питания ускорителя с анодным слоем (Anode layer accelerator power supply)Предназначен для питания технологического оборудования. Напряжение анодного канала: постоянное положительной полярности, накального канала: переменное. Блок питания смещения подложки (Pulsed Bias Power Supply)Предназначен для питания смещения подложки систем ионно-плазменного Блоки питания источников ионов с замкнутым дрейфом электронов и источников ионов типа «End-Hall» (End Hall and Close Drift Ion Sources Power Supplies)Предзназначен для питания технологического оборудования. Выходное напряжение: однополярное импульсное положительной полярности. Блоки питания магнетронов (DC Magnetron Power Supplies)Предназначен для питания магнетронов систем ионно-плазменного Блоки питания ионных источников с анодным слоем (Anode Layer Ion Sources Power Supplies)Предназначен для питания ионных источников с потенциальным анодом Блоки питания дуальных магнетронов (AC Dual Magnetron Power Supplies)Предназначен для питания дуальных магнетронов систем ионноплазменного осаждения покрытий. Выходное напряжение: переменное с симметричными полуволнами. Блоки питания ультразвуковых излучателейУльтразвуковой генератор «УЗГ-100» (УЗГ), предназначен для питания пьезокерамических ультразвуковых излучателей. |